Optical Table / Board

공기스프링 시스템의 성능은 정반의 수평을 항상 유지하며 자동레벨 유지로 지극히 적은 중량에도 민감하게 반응하는 고정밀 수치를 보장합니다.

정반의 탑재기기에 외부압력이 가해져, 정반에 진동이 생겨도 공기 스프링실과 보조탱크 사이에 설치한 오리피스를 통과 할 때 마찰로 인해 순간적으로 정지합니다. 공기 타입으로는 콤프레샤(option),공장배관(공기등), 질소가 일반적입니다.

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과학적인 공기 부유식 진동 절연 광학 플랫폼

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 응용분야

 

  고출력 전자 현미경, 스캐닝 프로브 현미경, 레이저 간섭계, 레이저 공 초점 현미경 및 기타분야에 적합.

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 제품특징 

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• 강력한 하중용량, 강한 강성, 높은 안전성 및 우수한 진동 절연효과를 갖춘 공기스프링형 광학테이블을 제조합니다.

• 우수한 진동 차단 성능 : 내장 된 정밀 공기 스프링 진동 차단 시스템으로, 고유 주파수가 우수하고 여러방향, 특히 수직방향의 진동에 대한 감소 효과가 뛰어나 외부 진동이 장비의 정밀도를 방해하지 않도록 계측 정확도를 향상시킵니다

• 자동 조정 레벨 기능 : 하중이 배치되는 위치가 변경되고 플랫폼은 자동 벨브를 통해 에어 스프링 내부의 공기 압력을 자동 조정하여 레벨을  자동으로 유지합니다. 공압 부품은 모두 표준 수입 오일 프리 컴프레셔 독일 FESTO제품으로 구현합니다.

• 플래 튼은 허니컴 코어 합판 구조를 채택하여 경량, 고강성의 장점을 지니고 있으며 상단 패널은 1cr17 고품질 고 자성 스테인레스 스틸로 정밀 연마 및 평탄도가 우수합니다. 무광 효과 패널에는 광학 부품을 쉽게 장착할 수 있는 M6나사구멍 어레이가 있습니다.

• 제진 지지대는 고품질 강관으로 용접되어 전체가 단단하고 안정적입니다.

• 사용압력은 0.35~0.6Mpa이며 표준 구성 압력 조절 필터 벨브는 공기 스프링의 장기적인 작동을 보장합니다. 사용자는 공기 파이프를 공기 흡입구에 연결하기만하면 장치가 진동 차단 기능을 정상적으로 수행할 수 있습니다.​ 공기는 소량의 공기를 통과시킬 수 있습니다. 조용한 장소에서 쉽게 사용할 수 있도록 압축기 또는 질소병을 공급합니다.

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 상세 내용

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• 평탄도 : <0.05mm / m2

• ​표면 조도 : 0.8㎛

• 고유 주파수 : X방향 < 5Hz : 88%~94% Y방향 : <5Hz : 86%~92%

• 진폭 : <1㎛

• 하중용량 : 800kg / m2

• 반복위치 : 정확도 ±0.05mm

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